GMP验证中推荐的臭氧灭菌方法，用得比较成功的方面：需灭菌物品的表面消毒灭菌在药品生产过程中，常常要对原材料，工器具，包装物等进行表面消毒，常常使用消毒柜，传递窗等。传统的方法是用紫外线消毒。问题主要是在消毒不彻的底，所以，若使用在诸如传递窗等要求不高的场合是可以的。但远不如臭氧的效果好。只要不怕臭氧腐蚀的东西都可以放在柜内进行消毒。
过氧化氢等离子灭菌范围：
1、适合灭菌的材料：铝、铜、Kraton共聚物、玻璃、乙烯、乙酸乙烯、液晶共聚物、聚碳酸脂、钛、聚氨基甲酸脂、聚氯乙烯、不锈钢、聚醚醚酮、聚乙烯聚苯、聚四氟乙烯、聚醚酰亚胺（U1tem共聚物）、聚苯乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、硅氧烷弹性体等。
2、产品适用范围：患者端连接电线电缆、光学镜片和玻璃镜头、动力设备和电池、硬式内窥镜、导管、手术器械。
3、不适合灭菌的物品，但不局限下列物品：
a.内径小于1mm、长度大于500mm的不锈钢管腔类器械；内径小于1mm，长度大于2000mm的聚四氟乙烯管腔类器械；
b.吸湿材料（木质器械、棉织物、纱布等纤维素制成物）；
c.一次性器械（一次性防水织物）；
d.液体、膏剂、油剂和粉剂；
e.不完的全干燥的物品；
f.一端封闭的内腔；
g.植入物；
h.不能承受真空压力的器械；
i.标示为使用压力蒸汽灭菌或环氧乙烷灭菌的器械；
j.器械具有复杂的内部部件，难以清洗，例如密封轴承；
k.带有尼龙拼和表面的物品；
l.老化，表面有破损，材质不确定的软式内镜。
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